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產(chǎn)品展示PRODUCTS

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Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀

產(chǎn)品時(shí)間:2024-03-28
由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀是非接觸式和非破壞性的,因此可以在不損壞樣品的情況下快速方便地進(jìn)行測量。廣泛用于研發(fā)和在線(xiàn)質(zhì)量控制中的薄膜厚度測量。高精度、高穩定性

由于Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀是非接觸式和非破壞性的,因此可以在不損壞樣品的情況下快速方便地進(jìn)行測量。廣泛用于研發(fā)和在線(xiàn)質(zhì)量控制中的薄膜厚度測量。高精度、高穩定性

Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀特點(diǎn)

可以非接觸、非破壞性方式測量薄膜厚度

厚度范圍從 10 nm 到 1000 μm,多可測量三層

不僅能測量薄膜厚度,還能測量光學(xué)乘數(n、k)(多達 3 個(gè)總參數)

支持微小點(diǎn)測量

還可測量濾光片顏料膜厚


Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀測量原理

假設在折射率為 n2 的基底上有一層厚度為 d、折射率為 n1 的薄膜,如圖所示。 考慮從空氣(折射率 n0)入射到薄膜上的光線(xiàn)。 光在美麗的路徑上被反射,在穿過(guò)薄膜并反射到基底表面的成分中,還有一個(gè)成分從薄膜中射出,可以作為反射光被捕獲。 由于光是一種波,這些反射成分會(huì )相互干涉。 考慮到入射光垂直于基底入射,這種干涉的減弱和加強取決于光學(xué)膜厚度 n d(即絕對膜厚度 n 乘以厚度 d)和波長(cháng)。

膜厚原理.png

Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀技術(shù)規格

型號TFW-100(1)TFW-100(2)TFW-100(3)
用途ITO薄膜厚度一般膜厚用光片膜厚
膜厚范圍10nm~500nm(C/F)150nm~1.5μm(C/F)500nm~10μm(C/F)
500nm~15μm(FFT)1.5μm~60μm(FFT)
測量重現性0.2%~1%(取決于膜材質(zhì))
波長(cháng)范圍300nm~1000nm400nm~700nm900nm~1600nm
光源Lambda Vision TFW-100分光膜厚儀12V-100W 素燈
測量軟件TF-Lab (曲線(xiàn)擬合法/ FFT法)




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